北京科技大学JET CVD反应气氛在线监测系统单一来源采购公示

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北京科技大学新材料技术学院拟邀请北京时代天启真空科技有限公司对其提供的JET CVD 气氛在线监测系统进行单一来源采购，其理由如下：

JET CVD合成高质量金刚石膜及单晶过程中，要求反应气氛纯度高、等离子体基团成份波动小，因此需要专用仪器对其进行在线实时监控。

为保证科研工作和实验要求，对设备提出以下要求：

1.   能与目前大功率JET CVD系统实现兼容；

2.   在高温等离子体环境中，系统稳定；

3.   采用前级泵内置式、DS-42,气流速率2m3/hr（34L/m）；

4.   设备最小漏率小于等于5×10-13pa.m3/sec；

5.   测试口最高耐压：13mbr，10torr，1330pa；

6.   校准程序：自动或手动（内置或外置）；

7.   操作界面：高清彩屏，TFT触摸屏；

经调查研究，北京时代天启真空科技有限公司提出的技术解决方案符合以上要求。其他厂家无法满足实验要求，故申请单一来源采购。

其他供应商如有异议，请于2017年3月26日前携书面材料与北京科技大学资产管理处联系，逾期将不再受理。

资产管理处联系方式：

地址：北京市海淀区学院路30号北京科技大学办公楼106

联系人：李老师 邮编：100083

    联系电话：010-62332013