BMCC-ZC22-0684 北京科技大学ICP等离子体刻蚀机项目中标公告

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中标公告

一、项目编号：BMCC-ZC22-0684

二、项目名称：北京科技大学ICP等离子体刻蚀机项目

三、中标信息

供应商名称：北京创世威纳科技有限公司

供应商地址：北京市怀柔区迎宾南路11号五幢二层2213室

中标金额：人民币664000.00元

四、主要标的信息

名称	规格型号	品牌	数量	单价（元）
ICP等离子体刻蚀机	DISC-ICP-8100	创世威纳	1套	664000.00元/套

五、评审专家名单：沈英琪、金祎、李秀娟、李密丹、俞芳。

六、代理服务收费标准及金额：按《招标代理服务收费管理暂行办法》（计价格[2002]1980号）及《国家发展改革委厅关于招标代理服务收费有关问题的通知》（发改办价格[2003]857号）执行，按中标金额差额定率累进法计算，按包由中标人支付。

中标服务费：9960.00元。

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其他补充事宜
1.招标公告日期：2022年11月22日

2.采购人定标日期：2022年12月05日

3.中标公告发布日期：2022年12月05日

4.项目用途、简要技术要求、合同履行日期：

项目用途：用于北京科技大学ICP等离子体刻蚀机项目采购。

简要技术要求：设备利用射频天线，通过感应耦合方式在放电腔中产生高密度等离子体，刻蚀工作台同时引入射频偏压，在射频偏压作用下，等离子体垂直向下对未被掩蔽的被刻蚀材料表面进行物理轰击，并与材料表面发生化学反应，达到对样品进行化学物理相结合刻蚀的目的。设备刻蚀材料需广泛，包括并不限于金刚石、GaN、SiC等。（详见招标文件）

合同履行日期：签订合同后4个月内到货。

（如与校级招标文件有误差以校级招标文件为准；具体内容可下载校级招标文件电子版查阅）。

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名    称：北京科技大学

地    址：北京市海淀区学院路30号

联系方式：谭老师、010-62332135

2.采购代理机构信息

名    称：北京明德致信咨询有限公司

地　  址：北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座17层1709室

联系方式：韩经理、王经理、吕绍山、颜华，010－82370045/17600207104

3.项目联系方式

项目联系人：韩经理、王经理、吕绍山、颜华

电　    话：010－82370045/17600207104

十、附件

1.校级招标文件（见本公告附件，或登录http://www.zbbmcc.com，打开后点击招标公告“标书下载”）