拟采购货物或服务的

详细说明

为满足课题任务要求，拟购置1台功率10kW、频率2.45GHz的微波发生器，为大面积光学级金刚石材料生长提供持续稳定等离子体激发能量。微波发生器的基本要求为：电源为开关电源，功率10kW，波动率小于1%，效率>97%，30天24小时不停机连续工作。

单一来源

采购原因

及

相关说明

微波等离子体CVD系统是生长光学级金刚石材料，满足微波、红外等领域应用（如微波窗口、激光窗口、红外窗口等）的主要手段，要想获得实用的光学级金刚石材料，就必须保证尺寸达到2英寸，厚度不小于1mm。在此情况下，在不掺杂氮的情况CVD金刚石生长速度缓慢，常见的6kW电源生长速率一般只有1微米左右，要满足毫米级CVD金刚石应用，需要设备连续工作1000小时以上。为了提高效率，需要使用更高功率电源提升沉积速率。如使用10kW电源可使速率提升一倍以上，大大节省了时间。根据国内外市场调研，提出微波发生器设备指标要求：功率10kW以上，频率2450MHZ +/- 20MHz；波动率<1%，效率>97%；30天24小时不停机连续工作；磁控管寿命：≥4000小时。

对比国内外相关厂家，国内单位生产的微波发生器均存在高功率下频率波动大、无法满足长时工作等问题。国外厂家, 美国mks公司电源市场占有率低，法国Sairem公司高功率电源只有915MHz系列产品，无法满足项目要求。德国Muegge电源目前是国内用户最多的电源,每年约有200台左右。10kW的微波电源目前国内也有几台，其工作稳定性好，寿命长，应用相对成熟。

    德国Muegge电源是目前市场可以唯一满足功率10kW，频率：2450MHZ +/- 20MHz，波动率<1%，效率>97%，30天24小时不停机连续工作，磁控管寿命：≥4000小时技术指标要求的产品。

    北京杰能达机电设备有限公司是德国Muegge电源的国内唯一代理商。

拟成交

供应商

名称：

北京杰能达机电设备有限公司

地址：

北京市房山区天星街1号院绿地启航社14号楼1705

公示期限

2021年3月25日 至2021年3月29日（不少于5个日历日）

招采中心

联系方式

联系地址：北京市海淀区学院路30号北京科技大学招标与采购管理中心货物与服务采购科（办公楼106室）

联 系 人：秦老师

联系电话：010-62332135