DY31-北京科技大学高功率脉冲薄膜沉积系统单一来源采购公示

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北京科技大学材料科学与工程学院拟邀请美国Kurt J. Lesker公司进行“高功率脉冲薄膜沉积系统”的单一来源采购，理由如下：

当前，薄膜材料的高通量制备已经能够初步实现成分的阵列和梯度分布，但还不能同时实现成分和微结构的阵列或梯度分布，所面临的障碍既包括技术上的问题，例如薄膜材料制备过程中温度、磁、电等物理场的精确控制比较困难，又包括材料扩散、相变、晶体形核长大等关键科学问题。该仪器设备能够实现上述领域的研发需求，真正实现薄膜材料高通量制备及快速筛选。

主要组成部件：

1、模块化等离子物理场；

2、真空腔室；

3、分子泵；

4、机械泵；

5、主阀；

6、前级/预抽阀；

7、电动限流阀；

8、放气阀；

9、射频电源；

10、直流脉冲电源；

11、脉冲偏压电源；

12、超高压脉冲电源。

 由于此设备为了实现微观组织（非晶、纳米晶、柱状晶、等轴承晶）和成分同时高通量的制备，故采用模块化物理场设计，实现在溅射镀膜过程中，原子到达基体表面能量的不同使得原子的迁移能力不同，从而调控薄膜的微观组织，突破非晶、纳米晶、柱状晶、等轴晶以及不同晶粒尺寸的微观组织调控关键技术，最终达到薄膜材料成分-组织高通量调控制备，实现真正薄膜材料高通量制备。研究结构薄膜，需要实现高致密性的薄膜沉积，并且要得到基片台中心温度550度，边缘有200度以上的梯度变化，因此加热器需要特殊设计与定制，配合高功率脉冲电源来实现结构性薄膜，市场上没有类似设备，属于定制设备，因此申请单一来源采购。

经前期调研，材料科学与工程学院拟选用美国Kurt J. Lesker公司为供应商，故申请对此设备进行单一来源采购。

其他供应商如有异议，请于2018年11月27日前携书面材料与北京科技大学资产管理处联系，逾期将不再受理。

资产管理处联系方式：

地址：北京市海淀区学院路30号北京科技大学办公楼106

联系人：李老师

邮编：100083

联系电话：010-62332013